Полное описание

Беспалов, А. В. Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Беспалов. - 2010. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 (14 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592-047.84(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-21058)

Шифр в сводном ЭК: 9d0257826552687a77c65e61e692dbff

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽