Полное описание

Kolbe, M. Untersuchung der elektrischen Eigenscaften dunner Schichten grosser Versetzungsdichte in Silizium mit einem Rasterelektronenmikroskop : Diss. / M.Kolbe. - K@:oln, 1990. - 101 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.98-101

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.216.2(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Электрические свойства

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ~ПЛЕНКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/16107)

Шифр в сводном ЭК: 9b2f5606c9d6faaa188ad83bb52bd96b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽