Полное описание

Роль поверхности в поведении радиационных дефектов в кремнии при отжиге / В.А.Буренков,В.С.Вариченко,А.Ю.Дидык,А.Р.Челядинский. - Дубна : [б. и.], 2000. - 8 с. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-2000-106). - 290 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002(04)

Рубрики:
Кремний -- Отжиг

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ -- ОТЖИГ
Доп. точки доступа:
Буренков, В.А.
Вариченко, В.С.
Дидык, А.Ю.
Челядинский, А.Р.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Р14-2000-106)

Шифр в сводном ЭК: 95c1e9fbbdef29f0af391be7c5b27361

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽