Полное описание

Юрьев, Ю. Н. Свойства тонких пленок оксида титана (TiO₂) и аморфного углерода (a-C), осажденных с помощью дуальной магнетронной распылительной системы / Ю. Н. Юрьев. - 2016. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
31.17.15	546.821-31.03:539.216.2(043)
	546.21-161.03:539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): ОСАЖДЕНИЕ -- ПОКРЫТИЯ -- ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар16-5845)

Шифр в сводном ЭК: 9018d75348cbe9de480b78bbf9a82814

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽