Полное описание

Salehomoum, F. Kinetik der SiC-Abscheidung aus der Gasphase bei 750 bis 900o C und 1 bar Gesamtdruck : Diss. / F.Salehomoum. - Aachen, 1991. - 85 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.78-85

ГРНТИ	УДК
61.31.47	661.665.1(043)

Рубрики:
Кремний, карбиды -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/17298)

Шифр в сводном ЭК: 8f14fd3f7213cef95b91b06a678b4ffa

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽