Полное описание

Hapke, P. VHF-Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium (uc-Si:H):Einfluss der Plasmaanregungsfrequenz auf die strukturellen und elektrischen Eigenschaften : Diss. / P.Hapke. - Aachen, 1995. - 101 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.94-101

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ПЛЕНКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/26191)

Шифр в сводном ЭК: 87c98e42170af91093863c1e02a80814

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽