Полное описание
> Freiberger, R. Realisierung eines hochauflosenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlangen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen : специальность "" : диссертация на соискание ученой степени / R. Freiberger ; Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule (Aachen), Fakultat fur Mathematik, Informatik und Naturwissenschaften. - Aachen, 2017. - 193 l. : ill. - Библиогр.: с. 171-183 (108 назв.). - Тираж не указ. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
29.31.29 | 681.723(043) |
Рубрики:
Микроскопы ультрафиолетовые
Доп. точки доступа:
Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule (Aachen). Fakultat fur Mathematik, Informatik und Naturwissenschaften
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/28938)>
Шифр в сводном ЭК: 86e6021440f280ebaa41fc16ea340eb9
Заказ фрагмента документа ₽