Полное описание

Kleijn, C. R. Transport phenomena in chemical vapor deposition reactors : diss. / C.R.Kleijn. - Delft, 1991. - IX,260 p. p. : ill. - ISBN 90-900-4669-0. - Текст : непосредственный.
Рез.гол.Библиогр.в конце кн.

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23.08(043)

Рубрики:
Пленки -- Производство -- Оборудование

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/24238)

Шифр в сводном ЭК: 85e8fe14f5a4569bf41c58d83c81f80f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽