Полное описание

Pill-Kauffmann, W. Relaxation thermischer Spannungen in Aluminiumfilmen auf Quarzsubstraten : Diss. / W.Pill-Kauffmann. - J@:ulich, 1991. - 124 S. : Ill. - (Berichte / Kernforschungsanlage(Julich), ISSN 0366-0885 ; N2436). - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.95-98
Перевод заглавия: Релаксация тепловых напряжений в алюминиевой пленке на кварцевой основе:Дис

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/2657/2436)

Шифр в сводном ЭК: 83bc5fa4709f929e7b6c9c539a57c1d2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽