Полное описание

Анализ преимуществ, перспектив применения и технологий производства структур КНИ / А.Л.Суворов,Ю.А.Чаплыгин,С.П.Тимошенков и др. - М. : [б. и.], 2000. - 35 с. : ил. - (Препринт / Институт теоретической и экспериментальной физики(Москва) ; 27-00). - 171 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(04)

Рубрики:
Кремниевые структуры

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ СТРУКТУРА
Доп. точки доступа:
Суворов, А.Л.
Чаплыгин, Ю.А.
Тимошенков, С.П.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/11110/27-00)

Шифр в сводном ЭК: 810ee72e9ef5ed8846db04b7769ed4b8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽