Полное описание

Ашуров, Х. Б. Формирование пленок и эпитаксиальных слоев кремния на сапфировых подложках при осаждении из ионно-молекулярных потоков : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Ашуров. - Ташкент, 1994. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:АН Респ.Узбекистан,Ин-т электроники им.У.А.Арифова.Библиогр.:с.22-23(11 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-5339)

Шифр в сводном ЭК: 808cf9c68ac791ac4d3fb440707b88d4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽