Полное описание

Гукетлов, Х. М. Разработка способов оптимизации технологии металлизации полупроводниковых структур : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / Х. М. Гукетлов. - Владикавказ, 2004. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 17(10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.002:621.793(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар05-414)

Шифр в сводном ЭК: 7eba07182645c9921dc03095ff59f430

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽