Полное описание

Ивин, В. В. Использование математического моделирования в исследовании, разработке и оптимизации фотолитографических процессов / В.В.Ивин,Т.М.Махвиладзе. - М. : [б. и.], 2000. - 30 c. : ил. - (Препринт / Физико-технологический ин-т(Москва) ; 22). - 50 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(04)

Рубрики:
Фотолитография

Кл.слова (ненормированные): ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Махвиладзе, Т.М.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/57213/22)

Шифр в сводном ЭК: 7d0edece88276f6a5ee4e262f8330c18

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽