Полное описание

Недорезов, В. Г. Исследование процессов формирования структуры и электрических свойств керметных толстых пленок и оптимизация технологических режимов их изготовления : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. Г. Недорезов. - Минск, 1991. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 23-25(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.59.33	621.316.849.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-04304)

Шифр в сводном ЭК: 7bb73791d9d1aff22436b1588626ad9f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽