Полное описание

Beck, R. B. Modelowanie procesow utleniania krzemu / R.B.Beck. - Warszawa : [s. n.], 1995. - 160 s. : il. - (Elektronika:Prace naukowe / Politech.Warszawska ; z.113). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.152-158

ГРНТИ	УДК
61.31.47	661.68.094.3

Рубрики:
Кремний -- Окисление

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ
Доп. точки доступа:
Politechnika Warszawska

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/11492/113)

Шифр в сводном ЭК: 7b0468696a32d34edf564757011be8b8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽