Полное описание

Нечаев, М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.09.03 / М. А. Нечаев. - 2010. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.14.06-52(043)

Кл.слова (ненормированные): МАГНЕТРОННОЕ ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ -- СКАНИРОВАНИЕ -- УПРАВЛЕНИЕ -- ЭЛЕКТРОПРИВОД
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-29038)

Шифр в сводном ЭК: 7afadd2fabc33f44287294e76f7f306c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽