Полное описание

Zimmermann, U. LEED- und NEXAFS- Untersuchungen zur gezielten Herstellung molekularer Epitaxieschichten auf Halbleitersubstraten : Diss. / U.Zimmermann. - Stuttgart, 1992. - 192 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.186-192

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002(043)

Рубрики:
Полупроводники -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/17430)

Шифр в сводном ЭК: 775af3fef86eeabd64dcb296fa1bc6a0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽