Полное описание

Хидиров, М. С. Разработка плазмохимических методов получения полупроводниковых карбидных и нитридных пленок и порошков : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 02.00.04 / М. С. Хидиров. - 2006. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22 (5 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-416(043)
47.13.33	621.315.592-492.2(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-4685)

Шифр в сводном ЭК: 73ff20325f7b568833b53419f99359fd

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽