Полное описание

Истомин, А. С. Повышения эффективности автоматизированного контроля процесса осаждения тонких пленок на основе емкостного метода : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.06 / А. С. Истомин. - Рыбинск, 2006. - 16 с. - Библиогр.: с. 14-16. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.384.002:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-1954)

Шифр в сводном ЭК: 6a03598571223c370d7de79882dffea0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽