• ВХОД

    •  

    Полное описание

    LPCVD silicon nitride and oxynitride films : сборник научных трудов / сост.ed. F. H.P.M. Habraken ; Ed. F. H.P.M. Habraken. - Berlin [etc.] : Springer , 1991. - 159 p. : ill. - (Research reports ESPRIT.Project 369 / Europ.strategic programme for research and development in inform.technology ; vol.1). - ISBN 3-540-53954-9. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей
    Перевод заглавия: Исследовательский отчет ESPRIT (Европ. стратегич. программы по НИР и ОКР в области информационной технологии):Проект 369

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77.002.3

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Материалы

    Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
    Доп. точки доступа:
    Habraken, F.H.P.M.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17146/1)

    Шифр в сводном ЭК: 67843190c29b9a7f2624073d783d7926



    Заказ фрагмента документа ₽