Полное описание
> Фадеев, А. Ю. Оптимизация процесса роста монокристаллов карбида кремния на затравках различных кристаллографических ориентаций : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. Ю. Фадеев. - 2013. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 . - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
29.19.31 | 537.311.322:548.5(043) |
Кл.слова (ненормированные): ДЕФЕКТНАЯ СТРУКТУРА -- ДЕФЕКТЫ УПАКОВКИ -- МОРФОЛОГИЯ
Аннотация: Оптимизация дефектной структуры монокристаллов карбида кремния политипа 4Н, выращенных на затравках различных кристаллографических ориентаций.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-14656)>
Шифр в сводном ЭК: 66bc16acfe9aeb258327797f74b45939
Заказ фрагмента документа ₽