Полное описание
> Entwurf eines Systems zur Erfassung und Weiterverarbeitung von Produktinformation bei der Herstellung von Mikrostrukturen / P.Wieland,C.D@:upmeier,H.Eggert,K.P.Scherer. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - IX,148 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5597). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.89-95
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76:658.562 | |
621-181.4 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Технический контроль
Миниатюрные изделия -- Технический контроль
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Wieland, P.
Dupmeier, C.
Eggert, H.
Scherer, K.P.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5597)>
Шифр в сводном ЭК: 63a01961dcc2b49c3de4320db4387e25
Заказ фрагмента документа ₽