Полное описание
> El-Kareh, B. Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies / B. El-Kareh ; SpringerLink (Online service). - Boston, Ma : Springer, 2009. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0. - ISBN 978-0-387-69010-0. - Текст : электронный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.382-047.84 |
Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)
http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.382--047.84/E43-695511)>
Шифр в сводном ЭК: 632284474de65c6a048f87d5fce90f06
Просмотр издания