Полное описание

Фирсов, Н. И.
Электронно-ионные процессы при формировании МДП структур : учеб. пособие для студентов Ш и IV курсов РЭФ днев. и заоч. отд-ний / Фирсов Н.И.,Богомолов Б.К.,Новиков И.Л. - Новосибирск : [б. и.], 19 - . - Загл. обл.: Электронно-ионные процессы при формировании структур. В надзаг.: Новосиб. гос. техн. ун-т. - Текст : непосредственный.
Ч. 1. - 1995. - 36 с. : ил. - 200 экз.

Библиогр.: с.31-35 (82 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.002

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Богомолов, Б.К.
Новиков, И.Л.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/53881/1)

Шифр в сводном ЭК: 6004964842d423ef310c29d920afa1ff

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽