Полное описание
> Кралькина, Е. А. Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.08 / Е. А. Кралькина. - М., 2008. - 40 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-40(64 назв.). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.29.33 | 621.387.143(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар09-871)>
Шифр в сводном ЭК: 5f599d3a1d03989edf2453e060d0d5b7
Заказ фрагмента документа ₽