• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Кралькина, Е. А. Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.08 / Е. А. Кралькина. - М., 2008. - 40 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-40(64 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.29.33621.387.143(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар09-871)

    Шифр в сводном ЭК: 5f599d3a1d03989edf2453e060d0d5b7



    Заказ фрагмента документа ₽