Полное описание

Polymers in microlithography: Materials and processes : developed from a symp. at the 197th Mat.meet. of the Amer.chem.soc., Dallas(Tx), Apr.9-14,1989 / Ed. E. Reichmanis. - Washington : [s. n.], 1989. - XII, 449 p. 449 p. : ill. - (ACS symposium series / Amer.chem.soc., ISSN 0097-6156 ; 412). - ISBN 0-8412-1701-7. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце гл. Указ.: с. 438-449

ГРНТИ	УДК
47.09.51	621.3.049.77-047.84:776(062)

Рубрики:
Полимеры -- Применение в микроэлектронике -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ПОЛИМЕР
Доп. точки доступа:
Reichmanis, E.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/11010/412)

Шифр в сводном ЭК: 5de99b7f54174e110b19dc8ec31acfd1

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽