Полное описание

Пинаев, А. Л. Создание и 3Д-характеризация металлических наноструктур на поверхности полимера с использованием метода динамической силовой литографии и сканирующей силовой микроскопии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.01 / А. Л. Пинаев. - 2011. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.03	538.91-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ -- ДИНАМИЧЕСКАЯ СИЛОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИЗМЕРЕНИЕ -- НАНОСТРУКТУРЫ
Аннотация: Развитие метода динамической силовой литографии (ДСЛ) для создания проводящих наноструктур на поверхности полимера с одновременными 3D-измерениями их геометрических параметров с нанометровым пространственным разрешением; исследование режима ДСЛ в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) с пьезорезонансным зондовым датчиком с вольфрамовым (W) нанозондом для определения оптимальных параметров единого процесса "модификация - измерение"; определение метрологических возможностей СЗМ "NANOEducator" в режиме ДСЛ в системе "металл - полимер".
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-23448)

Шифр в сводном ЭК: 5d8d42a904483046333e660c6966ab11

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽