Полное описание

Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества / Е.П.Прокопьев,С.П.Тимошенков,А.Л.Суворов и др. - М. : [б. и.], 2000. - 20 с. : ил. - (Препринт / Институт теоретической и экспериментальной физики(Москва) ; 24-00). - 141 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(04)

Рубрики:
Кремниевые структуры -- Производство

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ СТРУКТУРА -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Прокопьев, Е.П.
Тимошенков, С.П.
Суворов, А.Л.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/11110/24-00)

Шифр в сводном ЭК: 5790d423b84a26214f18f574a8638acf

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽