Полное описание

Обижаев, Д. Ю. Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.02.01 / Д. Ю. Обижаев. - М., 2008. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22(7 назв.). - Текст : непосредственный.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар08-2260)

Шифр в сводном ЭК: 56c72ccde55547c8c8effb96c8732a68

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽