Полное описание
> Сергиев, В. Г. Технология микроэлектронных устройств : учеб.пособие / В. Г. Сергиев, Н. С. Колмакова, Р. В. Смыслова. - Челябинск : Изд-во ЧГТУ, 1996. - 93 с. : ил. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Челяб.гос.техн.ун-т,Каф."Технология приборостроения".Библиогр.:с.61(10 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Колмакова, Н.С.
Смыслова, Р.В.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-96/35182)>
Шифр в сводном ЭК: 54dbe762bab0b9eb7bea224a5be9b4f3
Заказ фрагмента документа ₽