Полное описание

Авгуцевич, Б. И. Разработка радиоволнового метода и средств многопараметрового технологического контроля полупроводниковых эпитаксиальных структур радиотехнических устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Б. И. Авгуцевич. - Л., 1991. - 18 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Ленингр.ин-т авиац.приборостроения. Библиогр.: с. 16-18(19назв.).

ГРНТИ	УДК
47.61.35	621.396.6.002:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-4214)

Шифр в сводном ЭК: 545a90affa8202483111bfd4e291246a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽