Полное описание

Цыганков, П. А. Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.14 / П. А. Цыганков. - М., 1996. - 15 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 14-15(6 назв.)

ГРНТИ	УДК
55.20.19	621.793.184(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-4984)

Шифр в сводном ЭК: 5453cfce932f9629dcfcb5b9cb6e2e10

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽