• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Юнкин, В. А. Исследование особенностей реактивного ионно-плазменного травления кремния при формировании микроструктур с широким диапазоном аспектных отношений : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. А. Юнкин. - Черноголовка, 1998. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 19-20(15 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.29.39681.7.015(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-4184)

    Шифр в сводном ЭК: 510026e6c8170b58418828614a520147



    Заказ фрагмента документа ₽