Полное описание

Высокоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР / А. В. Водопьянов [и др.]. - Н. Новгород : [б. и.], 2010. - 12 с. : ил. - (Препринт / Институт прикладной физики (Нижний Новгород) ; 800). - Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592:621.794.4(04)

Рубрики:
Галлий, нитриды -- Травление

Доп. точки доступа:
Водопьянов, А.В.
Голубев, С.В.
Мансфельд, Д.А.
Сорокин, А.А.
Пряхин, Д.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/13643/800)

Шифр в сводном ЭК: 4a29831e6d995f0f116f269fc28691ea

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽