Полное описание

Конашук, А. С. Изучение электронного и атомного строения нанослоев Al₂O₃ при контакте с TiN и диэлектриков на основе SiO₂ : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / А. С. Конашук ; Санкт-Петербургский государственный университет. - 2017. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9(043)

Кл.слова (ненормированные): СТРУКТУРЫ МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИК-ПОЛУПРОВОДНИК
Доп. точки доступа:
Санкт-Петербургский государственный университет

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-103)

Шифр в сводном ЭК: 473c0adac7345a346489042ac78545b0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽