Полное описание

Ноженков, М. В. Научные основы расчета и выбора режимов формирования в вакууме защитных покрытий со сверхнизким трением : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / М. В. Ноженков. - М., 2013. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-32. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.384-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ПРЕДПРИЯТИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-сф112)

Шифр в сводном ЭК: 473767773d4225ab5fbfa1a3d4fa89b6

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽