Полное описание
> Вотинцева, Е. Е. Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства : специальность 05.27.06 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук / Е. Е. Вотинцева. - М., 2000. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 16-17(5 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
29.19.31 | 537.311.322:548.5(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР01-6199)>
Шифр в сводном ЭК: 460190bb5eecf4a4d0b1db0f65746f35
Заказ фрагмента документа ₽