Полное описание

Мавлянов, Р. К. Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si C H, -SiH и исследование свойств пленок и приборных структур на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Р. К. Мавлянов. - СПб., 1996. - 19 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Рос.АН,Физ.-техн.ин-т им.А.Ф.Иоффе.Библиогр.:с. 19(4 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592(043)
47.09.29	621.382(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-2920)

Шифр в сводном ЭК: 44ea11a3772d931552d8a820ca7da71a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽