Полное описание
> Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen / K.Layendecker,W.Bacher,K.Bade,W.Stark. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 87 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5594). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.75-79
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектроды -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Производство
Доп. точки доступа:
Layendecker, K.
Bacher, W.
Bade, K.
Stark, W.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5594)>
Шифр в сводном ЭК: 44a9073aada22d5764f2a37ae003c07b
Заказ фрагмента документа ₽