Полное описание

Jebasinski, R. Ionenstrahlsynthese einkristalliner CoSi2-Schichten in Si und deren elektrische und strukturelle Charakterisierung : Diss. / R.Jebasinski. - K@:oln, 1993. - 128 S. : Ill. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002.3-416(043)

Рубрики:
Кобальт, соединения, пленки

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/25317)

Шифр в сводном ЭК: 3efa8becb681019ded2f274c42dd24a9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽