Полное описание

Жабрев, В. А. Основы субмикронной технологии : учеб. пособие / В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001. - 115 с. : ил. - 170 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.114

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Марголин, В.И.
Мошников, В.А.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-01/81272)

Шифр в сводном ЭК: 36dc5b6f9f1c7319dc2e21161a636c43

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽