Полное описание

Ершов, И. В. Введение в физику и технологию планарных наноструктур : учебное пособие / И. В. Ершов, В. В. Илясов ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Донской государственный технический университет. - Ростов-на-Дону : ДГТУ, 2018. - 99 с. : ил. - Библиогр.: с. 98 (10 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.9-022.532
47.13.07

Рубрики:
Полупроводниковые пленки
Наноструктурные материалы полупроводниковые

Доп. точки доступа:
Илясов, В.В.
Донской государственный технический университет (Ростов-на-Дону)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/62839)

Шифр в сводном ЭК: 367d71c0f1cd5127f20242dd3473c2a4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽