Полное описание

Литовченко, В. Г. Micromechanism of stimulated gettering in semiconductor thin film layered systems / В. Г. Литовченко, B. N. Romanyuk, Yu. V. Kryuchenko. - Kiev : [s. n.], 1991. - 24 p. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство

Доп. точки доступа:
Romanyuk, B.N.
Kryuchenko, Yu.V.
Litovchenko V.G.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-91/99203)

Шифр в сводном ЭК: 35fe9d216675ad63f8298557978c1e1d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽