Полное описание

Stucky, K. -U. Rechnergestutzte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen : Diss. / K.-U.Stucky. - Karlsruhe, 1994. - 120 S. : Ill. - (Berichte KfK / KfK, ISSN 0303-4003 ; 5393). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.115-120

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)
	621-181.4(043)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): S/333/5393)

Шифр в сводном ЭК: 2df9b6c005802271e29ce783ee775ea0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽