Полное описание

Прусаков, Е. В. Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Е. В. Прусаков. - М., 2001. - 23 с. + 100 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т). Библиогр.: с. 22-23(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13	621.38.002.5(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-4030)

Шифр в сводном ЭК: 2c4c42b2cda85ca54ff747e699d5ad06

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽