Полное описание
> Зверева, Г. Н. Исследование и оптимизация источников вакуумного ультрафиолетового излучения на основе плазмы инертных газов : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.05 / Г. Н. Зверева. - СПб., 2010. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с. 25-30. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
41.51.31 | 681.7.069.225(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-19862)>
Шифр в сводном ЭК: 2b38866041e699ff18cb01381bfc783d
Заказ фрагмента документа ₽