Полное описание

Сиксин, В. В. Установка по очистке тетраметилсилана (TMS) от электроотрицательных примесей и система контроля за электропроводностью TMS после очистки / В. В. Сиксин. - Протвино (Моск. обл.) : [б. и.], 1990. - 7 с. : ил. - ; ИФВЭ 90-112. - 250 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 7 (6 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.15.39	539.1.07(04)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/7868/ИФВЭ 90-112)

Шифр в сводном ЭК: 28368f70131d1277616850873268c727

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽