Полное описание

Алексеев, П. А. Исследование распределения зарядов и электрических полей в приборных наноструктурах методами сканирующей зондовой микроскопии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / П. А. Алексеев. - 2013. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.77	621.3.049.76(043)

Кл.слова (ненормированные): МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ
Аннотация: Развитие и применение методов сканирующей Кельвин-зонд микроскопии для исследования электрофизических свойств материалов и структур современной микро- и наноэлектроники, а именно: нанотонких слоев диэлектриков SiO₂, Si₃N₄, LaScO₃, гетероструктур на основе соединений GaAs, InAs и близких к ним твердых растворах, а также GaAs нанопроводов в целях оптимизации их применения в приборных разработках.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-14726)

Шифр в сводном ЭК: 249659c9098ee245d0d2f624d16c1872

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽