Полное описание

Орехов, А. С. Структура пленок высшего силицида марганца по данным электронной микроскопии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.18 / А. С. Орехов. - 2017. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-23. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
31.17.15	546.711'281.03:539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): ГРАНИЦА РАЗДЕЛА -- КРЕМНИЙ -- ПОДЛОЖКА -- РЕАКТИВНАЯ ДИФФУЗИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар17-6433)

Шифр в сводном ЭК: 23b930629e6ef2e6a94e9094e25e3745

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽