Полное описание

Линник, С. А. Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 01.04.07 / С. А. Линник. - 2013. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 24 (7 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗМА -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ -- ЭЛЕКТРОДЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-8470)

Шифр в сводном ЭК: 235c114a0a39c0db8e8077ea4fe3086f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽